為了提高量子阱高電子遷移率晶體管(QW HEMTs)中的電子遷移率,我們研究了在A(yíng)l極性單晶AlN襯底上的AlN/GaN/AlN異質(zhì)結構中的輸運特性。理論建模與實(shí)驗相結合表明,量子阱中高電場(chǎng)引起的界面粗糙度散射限制了遷移率。將量子阱寬度增加到其松弛形態(tài)可以減小內部電場(chǎng)和散射,從而...
本文展示了采用等離子輔助分子束外延(PAMBE)技術(shù)實(shí)現了N極性AlN單晶襯底上同質(zhì)外延生長(cháng)AlN薄膜中的可控Si摻雜。通過(guò)優(yōu)化生長(cháng)條件,我們在950℃下獲得了高質(zhì)量的N極性AlN薄膜。然而,我們的研究揭示,在這樣的高溫生長(cháng)環(huán)境下,Si的摻入量會(huì )顯著(zhù)降低。為了實(shí)現更高的Si摻入量...
在過(guò)去的十年中,半導體領(lǐng)域最大的新聞之一就是傳統硅的意外被超越——在電力電子領(lǐng)域,碳化硅(SiC)和氮化鎵(GaN)已經(jīng)超越了硅,占據了數十億美元的市場(chǎng)份額。隨著(zhù)這些具有優(yōu)越性能的新秀逐漸占據主要應用領(lǐng)域,人們自然會(huì )提出一個(gè)問(wèn)題:下一代新的功率半導體會(huì )是什么——哪一種半導體將憑借...
Crystal IS,一家旭化成公司,今天宣布成功實(shí)現了直徑為100 mm的單晶氮化鋁(AlN)襯底的批量生產(chǎn),這些襯底的可用面積達到99%,以滿(mǎn)足當前UVC LED的需求,生產(chǎn)將在美國進(jìn)行。AlN的超寬帶隙和高熱導率不僅有助于提高UVC LED器件的可靠性和性能,還有助于提高下...
我們在A(yíng)lN襯底上,采用MOCVD生長(cháng)的AlGaN/GaN/AlN外延層實(shí)現了基于A(yíng)lN的GaN溝道HEMT,在VGS = 1 V時(shí),實(shí)現了400 mA/mm的電流密度和125 V/μm的擊穿電壓(VBr)縮放。與類(lèi)似的AlN-on-SiC器件不同,高VBr縮放在1000 V以上...
極化誘導載流子在實(shí)現超寬帶隙半導體AlGaN的高電導率方面起著(zhù)重要作用,這對于從射頻和功率電子到深紫外光電器件的各種應用至關(guān)重要。盡管具有重要的科學(xué)和技術(shù)意義,但在N極性AlGaN中關(guān)于極化誘導載流子的研究仍然較少。我們通過(guò)系統改變8 nm頂層中的Al含量,從x=0到x=0.6,...