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              1. 第五代移動通信技術(shù)(簡稱5G或5G技術(shù))是最新一代蜂窩移動通信技術(shù),也是即4G(LTE-A、WiMax)、3G(UMTS、LTE)和2G(GSM)系統(tǒng)之后的延伸。5G的性能目標(biāo)是高數(shù)據(jù)速率、減少延遲、節(jié)省能源、降低成本、提高系統(tǒng)容量和大規(guī)模設(shè)備連接。
                在已知壓電材料中,AlN薄膜的SAW傳播速度是最快的,且AlN SAW器件具有良好的化學(xué)和熱穩(wěn)定性,以及對外界環(huán)境如壓力、溫度、應(yīng)力、氣體等具有極高的靈敏性,與常規(guī)傳統(tǒng)Si CMOS技術(shù)相兼容,因而成為無源傳感、無線傳 感和移動信號處理的關(guān)鍵部件。隨著最近十幾年來無線通信技術(shù)的飛速發(fā)展,SAW 傳感器、諧振器和濾波器在實現(xiàn)小型化、多功能和高性價比方面有望取代傳統(tǒng)半導(dǎo)體器件,成為未來復(fù)雜系統(tǒng)的核心技術(shù)。
                濾波器主要包括薄膜腔聲諧振濾波器(FBAR)、表面聲波濾波器(SAW)及體聲波濾波器(BAW)。FBAR在未來單芯片多波段無線通信RF前端系統(tǒng)中使用較多,與SAW濾波器相比更具尺寸優(yōu)勢;AlN在SAW/BAW濾波器中的應(yīng)用較為成熟,已實現(xiàn)商品化,SAW濾波器多用于中頻,BAW 濾波器更適合高頻應(yīng)用,且高品質(zhì)因數(shù)Q值更高,將在4G/5G等通信領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
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